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全自动硅片清洗机

发布日期:2008-10-10 查看次数:

详细信息

有效期 长期
类 别 机械
规格型号 非标
产品数量 45
地区 北京
详细链接

1)适合单晶硅片研磨、切割后的批量清洗,多晶硅片线剧切片后的大批量清洗。 2)工艺流程: DI水超声+氮气鼓泡→喷淋→碱超声→ 喷淋→溢流 3)设备采用联动机械手按节拍同时移动篮具,其工艺时间可以自行调节 4)标准工艺下产量:硅片1000片/小时。有需求此方面设备的朋友,请致电13321111987李贵芹

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