| 有效期 | 长期 |
|---|---|
| 类 别 | 机械 |
| 规格型号 | |
| 产品数量 | |
| 地区 | 北京 |
| 详细链接 |
| 半导体器件设备-片盒清洗机 |
1.设备由五大部分组成：清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。
2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。
3.关键件采用进口件，包括气动阀，PFA管道、全氟循环系统，保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。
4.工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存储多条工艺时序，方便使用。
5.人机界面为触摸屏，方便直观。
6.除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成，适用连续批量生产