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半导体工艺清洗腐蚀设备-立式石英管清洗设备

发布日期:2007-10-16 查看次数:

详细信息

有效期 长期
类 别 机械
规格型号
产品数量
地区 北京
详细链接

本设备为立式单工位,用于石英钟罩及石英器皿的清洗,通过PLC控制相应的泵、阀,石英钟罩转动、进行喷酸(石英钟罩内、外壁)、自动卸酸、DIW高压喷射(同时石英钟罩转动)、电阻率(DIW出口)自动监测、氮气吹干以保证石英钟罩及石英器皿上油污、颗粒、杂质的彻底清除

联系方式

联系人 耿彪
联系电话 010-83270202
Email hualinweiye@sina.com
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