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硅晶圆片去膜清洗机

发布日期:2007-10-16 查看次数:

详细信息

有效期 长期
类 别 机械
规格型号
产品数量
地区 北京
详细链接

半导体分立器件设备-去膜清洗机1.概述:本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行去膜处理,该产品技术先进、一致性强,适用于规模生产。2.整台设备材料均为进口。3.本设备为双排槽构成,每排7槽,各设一套机械手,两排可独立同时完成相应的工序。4.本设备除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完成。5.每槽装片能力:50片/批(2花篮,25片/花篮)。6.工作区洁净度:100级。7.槽间工艺转换时间:Tm ax≤3.5S

联系方式

联系人 耿彪
联系电话 010-83270202
Email hualinweiye@sina.com
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