| 有效期 | 长期 |
|---|---|
| 类 别 | 机械 |
| 规格型号 | |
| 产品数量 | |
| 地区 | 北京 |
| 详细链接 |
一、 硅片甩干机功能：
1. 把工件放入硅片盒中，再放在旋转支架上。
2. 双手按住启动按钮，油缸自动盖上顶盖，
3. 油缸上的感应门锁到位后，显示门锁住。顶盖的喷杆开始喷纯净水，外筒排水，筒内不允许有积水，同时旋转支架开始转动，目前转速为低速(转速一)，且可以人为的设定。(目前工艺：200转/分，2分钟)。清洗的时间可以根据需要调整。
4. 清洗结束，顶部的喷杆停止喷，开始喷加热的氮气，边喷边加热。加热的温度分为高温和低温。加热的时间可以人为设定，油浴炉的温度为110度，最高温度设定可以显示器上修改。(目前工艺：500转/分，6分钟)。加热采用油浴炉加热，加热介质为乙二醇，加热温度控制在120度以下。辅助加热系统热量足够保证顶盖打开时没有水滴下。