硅片显影定影设备
发布日期：2007-10-16
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详细信息
| 有效期 |
长期 |
| 类 别 |
机械 |
| 规格型号 |
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| 产品数量 |
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| 地区 |
北京 |
| 详细链接 |
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全自动显影机 1．概述：本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影，该产品技术先进、一致性强，适用于规模生产。 2．整台设备材料均为进口。 3．本设备为双排槽构成，每排7槽，各设一套机械手，两排可同时完成相应的工序。 4．本设备除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成。 5．每槽装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）。 6．工作区洁净度：100级。 7．槽间工艺转换时间：Tm ax≤3.5S
联系方式
| 联系人 |
耿彪 |
| 联系电话 |
010-83270202 |
| Email |
hualinweiye@sina.com |
