| 有效期 |
长期 |
| 类 别 |
电气 - 仪器仪表 |
| 规格型号 |
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| 产品数量 |
10000 |
| 地区 |
上海 |
| 详细链接 |
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低成本金属密封型质量流量控制器/计
型号5400系列
型号5400系列质量流量控制器/计无焊接结构，金属密封，精确度≤ ±1%，响应≤±1/秒，基本的性能适用于半导体过程控制，而且价格合理。型号5410系列同样主体的设计价格也十分合理。
特点
通过安装一个温度流量传感器得到高精确的快速回应
通用的常闭型阀门
无焊接构造，金属密封确保低的泄露
由于膈膜角座阀较少了死区
间距，主体尺寸和连接的设计可以和生产商的控制器兼容
技术指标
F.S.流量 (N2换算)
10SCCM-20SLM
阀门方式
常闭电磁隔膜阀
控制范围
2%-100%F.S.
响应
±2% 在1秒以内
QS option proviodes 1 sec.or less for 0-100% to 0-20%responses
